氦質(zhì)譜檢漏儀是對(duì)密封容器的泄漏進(jìn)行快速定位和定量測(cè)量的完整儀器。
氦質(zhì)譜檢漏方法與氣泡識(shí)別法、壓強(qiáng)衰減法和鹵素檢漏等方法相比，除檢漏原理不同外，以檢測(cè)靈敏度高、速度快和適用范圍寬，尤其是選擇無毒、無破壞性、質(zhì)量輕的惰性氣體氦作為探索氣體，而成為當(dāng)今諸多檢漏方法中的佼佼者。
設(shè)備由真空系統(tǒng)、質(zhì)譜室、電子學(xué)線路和機(jī)架四部分組成。其中，真空系統(tǒng)包括渦輪分子泵、機(jī)械泵和組合閥體。
主要性能參數(shù)
1.最小可檢漏率（對(duì)氦） <5×10-11 Pa•m3/S
2.吸入法最小可檢漏率 ～ 5×10-8 Pa•m3/S
3.反應(yīng)時(shí)間 <3S
4.啟動(dòng)時(shí)間 <8 min
5.允許檢漏口最高壓力 20Pa
6.允許質(zhì)譜室最高工作壓力 3×10-2 Pa
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